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【芯碁微装:拟定增募资不超过8.25亿元】《科创板日报》1日讯,芯碁微装公告,拟定增募资不超过8.25亿元,用于直写光刻设备产业应用深化拓展项目,IC载板、类载板直写光刻设备产业化项目,关键子系统、核心零部件自主研发项目,补充流动资金项目。

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